### Минпромторг России заказал разработку и производство отечественных гелий-неоновых лазеров и фотоприемников. Они предназначены для систем позиционирования в оборудовании для производства чипов с топологическими нормами до 65 нм.

Новые лазеры и фотоприемники заменят американские аналоги Keysight в оборудовании Nikon и ASML, а также в отечественных установках. Комплект будет использоваться в литографических степперах и сканерах Nikon серий SF 204-206, i-11, i-12, ASML серии PAS-5500, а также в генераторах изображений на фотошаблонах.

Кроме того, эти компоненты найдут применение в системах контроля качества фотошаблонов и полупроводниковых пластин, а также в установках лазерного устранения дефектов.

Проект реализуется в рамках госпрограммы «Научно-технологическое развитие Российской Федерации» и направлен на снижение зависимости от импортных комплектующих.

#чипы #лазеры #микроэлектроника #импортозамещение #Nikon


@techfuturex